Нанотехнологии и наноматериалы

НАНОТЕХНОЛОГИИ И НАНОМАТЕРИАЛЫ

В институте проводятся исследования в области нанотехнологий и создания наноматериалов, мехатроники и создания микросистемной техники.


В рамках выполнения Программы развития наноиндустрии в Российской Федерации до 2015 г. и федеральной целевой программы «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008–2011 гг.» ФГУП «ЦНИИХМ» является головной организацией по выполнению программы «Нанотехнологии для систем безопасности».


Исследования и разработки проводятся в следующих целях:

  • миниатюризация и снижение энергопотребления датчиков, датчиковых платформ и приборов различного назначения;
  • снижение стоимости сенсорных устройств;
  • расширение номенклатуры датчиков и сенсорных систем, поиск новых рынков сбыта этой продукции и областей ее применения;
  • создание и поддержание деятельности научных школ.


Приоритетные направления научных исследований и разработок:

  • охранные системы для критически важных инфраструктурных объектов;
  • эффективные датчики пожарной безопасности;
  • датчиковые системы типа «умный дом»;
  • «умные» сенсоры для охраны промышленных зданий и сооружений;
  • сенсорные системы для дистанционного зондирования Земли и мониторинга космического пространства, созданные на основе новейших достижений в области опто-, микроэлектроники и микросистемной техники;
  • прецизионные магнитометрические системы для проведения археологических и геологоразведочных работ (магниторазведка);
  • морские магнитометры для поиска затонувших объектов;
  • бесконтактные тепловизионные системы для эпидемиологического контроля и измерения температуры людей;
  • системы мониторинга состояния инженерных систем бытовых и промышленных зданий и сооружений.

Институт выпускает следующие наименования высокотехнологичной продукции:

  • прецизионные высокочувствительные МЭМС-акселерометры;
  • сверхмалогабаритные однокристальные МЭМС-акселерометры для инерциальных блоков и датчиков угловых скоростей;
  • сверхвиброударопрочные МЭМС-акселерометры;
  • малогабаритные МЭМС-гироскопы с широким динамическим диапазоном действия;
  • высокочувствительные МЭМС-гироскопы;
  • малогабаритные однокристальные гироскопы;
  • сверхвиброударопрочные МЭМС-гироскопы;
  • микромеханические переключатели ВЧ- и СВЧ-диапазонов;
  • микромеханические реле (замыкатели);
  • малогабаритные датчики ИК-излучения;
  • микроболометрические матрицы;
  • магнитометры, изготовленные по МЭМС-технологии;
  • МЭМС-датчики давления;
  • датчики температуры;
  • интегрированные многофункциональные малогабаритные датчиковые платформы, сенсорные устройства и приборы на основе МЭМС-компонентов.

Услуги, оказываемые специалистами института:

технологическое обеспечение:

  • работы по дизайну и проектированию МЭМС, микро- и наноструктурированных материалов;
  • обработка пластин диаметром от 1 до 7”;
  • изготовление МЭМС по технологии кремний-на-изоляторе, кремний-над-полостью, полимерных жертвенных слоев, объемной микрообработки кремния;
  • поверхностный монтаж.

методы исследования:

  • микроскопия оптическая, электронная, зондовая;
  • ИК-спектроскопия;
  • измерение контактных углов смачивания;
  • определение адгезионной прочности соединений пластин;
  • эллипсометрия.