Аналитический обзор. Варианты применения технологии МЭМС.

Аналитический обзор. Варианты применения технологии МЭМС.

Проведены исследования по применению технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС) при проектировании и создании современных предохранительно-исполнительных механизмов военного назначения за рубежом.