СОЗДАН ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР
В рамках выполнения инициативной ОКР «Разработка высокоточных миниатюрных микромеханических датчиков линейных ускорений» создана линейка микромеханических акселерометров полностью российского производства с диапазонами чувствительности ±10 м/с2, ±100 м/с2, ±300 м/с2 широкого круга применений. Изделия формируют выходной аналоговый сигнал, пропорциональный действующему вдоль оси чувствительности ускорения. Они могут быть использованы в качестве прецизионных инклинометров, в составе систем ориентации, стабилизации и навигации различной техники.
Образцы являются функциональными аналогами линейных микромеханических акселерометров иностранного производства фирм Safran SA, Murata Electronics Oy, Analog Devices, Tronics.
В составе акселерометра применяется маятниковый кремниевый чувствительный элемент, изготовленный по технологии МЭМС, обеспечивающий возможность достижения высоких эксплуатационных характеристик в сочетании со стойкостью и прочностью к воздействию внешних воздействующих факторов. Гарантировано функционирование в диапазоне температур -60 ÷ +85 0C. Изделие оснащено встроенным датчиком температуры, который может быть использован для термокоррекции. Особенности конструкции изделий и технологии их создания позволяют добиться высокой прочности к ударным воздействиям.
РАЗРАБОТКА АМР-ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ МАГНИТНОГО ПОЛЯ И МИКРОСИСТЕМНОГО ТРЕХКОМПОНЕНТНОГО МАГНИТОМЕТРА
В рамках инициативной ОКР «Нагрузка» предприятием ведется разработка одно- и двухкомпонентного преобразователя магнитного поля и микросистемного трехкомпонентного магнитометра на их основе для измерения компонент вектора магнитного поля Земли. Преобразователи магнитного поля формируют выходной сигнал, величина которого зависит от напряженности компоненты внешнего магнитного поля, направленного вдоль оси чувствительности датчика. В преобразователях магнитного поля применен чувствительный элемент на основе анизотропного магниторезистивного эффекта. Данный тип чувствительных элементов обладает уникальным сочетанием высоких эксплуатационных характеристик (рабочего диапазона, чувствительности и разрешающей способности) с устойчивостью к воздействию внешних факторов. Кристаллы магниторезистивных чувствительных элементов изготавливаются с использованием технологических процессов микроэлектроники и микросистемной техники.
Преобразователи магнитного поля являются функциональными и габаритными аналогами микросхем Honeywell HMC1001 и HMC1002 (США). При этом преобразователи магнитного поля изготавливаются исключительно с применением материалов и комплектующих отечественного производства.
Микросистемный трехкомпонентный магнитометр содержит комплект трех преобразователей магнитного поля, смонтированных в алюминиевом корпусе, и формирует цифровой выходной сигнал, зависящий от воздействия внешнего магнитного поля с учетом калибровочных коэффициентов.
В настоящее время проводятся испытания изготовленных опытных образцов. Работы планируется завершить до конца 2024 г.
